موقعیت دهنده میکرونی پیزوالکتریک با رزولوشن نانومتری

ولتاژ کاری : 0 -140 ولت

دامنه جابجایی: 180 میکرومتر

فرکانس طبیعی: 300 هرتز

رزولوشن: 100 نانومتر

ظرفیت خازنی: 4 میکروفاراد

سرعت پاسخ: 20 میلی ثانیه