موقعیت دهی خطی نامحدود با دقت حرکتی میکرو و نانو توسط عملگرهای پیزوالکتریک

دامنه جابجایی: نامحدود (قابل طراحی مبتنی بر نیاز)

سیستم یاتاقان بندی: Cross Roller

سیستم فیدبک موقعیت: دارد

رزولوشن: 400 نانومتر

دامنه تحریک: 0 -140 ولت

فرکانس کاری: 0-100 هرتز